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钨蚀刻剂
Tungsten etchant
产品别名
钨蚀刻剂
Tungsten etchant
Tungsten etch
钨腐蚀剂
基本信息
| MDL number | MFCD08705365 |
| NACRES | NA.23 |
| General description【一般描述】 | 钨腐蚀剂是一种基于氢氧化钾和铁氰化钾溶液的混合物，可通过将基底浸入蚀刻溶液中而有助于将钨和铝等材料进行去除。 |
| Application【应用】 | 半导体和微电子技术中钨薄膜金属化的选择性蚀刻剂。蚀刻剂是缓冲式、温和碱性铁氰化物配方，提供高分辨率图案，具有最小切割和光刻胶兼容性。蚀刻剂可直接使用(不需要稀释)。可控、均匀蚀刻是通过浸渍或喷雾蚀刻技术实现的。蚀刻能力(速率在∼70%时下降)为64 g/加仑。建议工作温度：20-80 ℃(30-40 ℃最常用) |
| Preparation Note【制备说明】 |
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产品性质
| Quality Level【质量水平】 | 100 |
| packaging【包装】 | 500 mL in poly bottle |
安全信息
| Pictograms【象形图】 | GHS05 |
| Signal word【警示用语：】 | Danger |
| Hazard Statements | H290 - H314 - H412 |
| Precautionary Statements | P234 - P273 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338 |
| Hazard Classifications【危险分类】 | Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A |
| Storage Class Code【储存分类代码】 | 8B - Non-combustible, corrosive hazardous materials |
| WGK | WGK 2 |
| Personal Protective Equipment【个人防护装备】 | Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter |
