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三(叔丁氧基)硅烷醇
Tris(tert-butoxy)silanol
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产品编号 | 包装单位 | 单价(元) | 国内现货 | 国外库存 | 询价单 |
3256066 | 5 G | 1036 | |||
3256066 | 25 G | 3110 |
产品别名
18166-43-3
三(叔丁氧基)硅烷醇
Tris(tert-butoxy)silanol
TBS
结构式
基本信息
Linear Formula【线性分子式】 | ((CH3)3CO)3SiOH |
Molecular weight | 264.43 |
MDL number | MFCD00271024 |
PubChem Substance ID【PubChem化学物质编号】 | 24879332 |
NACRES | NA.23 |
General description【一般描述】 | 三(叔丁氧基)硅烷醇可以与各种金属烷基酰胺反应,作为气相沉积金属硅酸盐的前体。它也是二氧化硅沉积的理想前体。 |
Application【应用】 | 三(叔丁氧基)硅烷醇与四(二甲基氨基)-铪蒸气(Hf(N(CH3)2)4)反应,用于硅酸铪玻璃膜的气相沉积。三(叔丁氧基)硅烷醇被用于无定形二氧化硅和氧化铝纳米层的高度共形层的原子层沉积(ALD)。 |
产品性质
Quality Level【质量水平】 | 100 |
Assay【测定】 | 99.999% |
form【形式】 | solid |
bp | 205-210 ℃ (lit.) |
mp | 63-65 ℃ (lit.) |
SMILES string | CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C |
InChI | 1S/C12H28O4Si/c1-10(2,3)14-17(13,15-11(4,5)6)16-12(7,8)9/h13H,1-9H3 |
InChI key | HLDBBQREZCVBMA-UHFFFAOYSA-N |
packaging【包装】 | 5, 25 g in glass bottle |
安全信息
Storage Class Code【储存分类代码】 | 13 - Non Combustible Solids |
WGK | WGK 3 |
Personal Protective Equipment【个人防护装备】 | Eyeshields, Gloves, type N95 (US) |